真空熱壓燒結(jié)爐

       真空熱壓燒結(jié)爐依使用溫度的不同可分為以下幾類。由于使用溫度的不同，加熱室中所采用的加熱方式及保溫方式千差萬別。溫度在800℃以下的爐子，加熱器常采用鐵鉻鋁、鎳鉻絲等作為加熱元件，保溫材料常采用高溫硅酸鋁保溫氈。溫度在1000℃-1600℃常采用金屬鉬、硅鉬棒、硅碳棒等作為加熱元件，保溫材料常用復(fù)合碳?xì)帧⒛獊硎瘹值?。溫度?600℃--2200℃常用石墨管作為加熱元件，或采用感應(yīng)加熱方式，保溫材料常用石墨氈等。

       真空熱壓燒結(jié)爐的爐殼由爐體和爐門構(gòu)成，為雙層冷卻水套式結(jié)構(gòu)。設(shè)備爐殼是按蕞大承受壓力范圍為-0.1~0.05MPa設(shè)計(jì)。 爐殼為臥式，側(cè)開平移門，爐殼上有真空系統(tǒng)接口，測溫接口，水冷電極接口、充放氣接口及視孔接口等，均按高真空靜密封標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)；爐體上的上下壓頭裝臵（上下各一套）、熱電偶裝臵及擋板機(jī)構(gòu)均為高真空動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，爐門和爐殼均采用焊接結(jié)構(gòu)。對(duì)于尺寸較小的熱壓爐，爐門與爐體采用鉸鏈連接方式，由于石墨壓頭、爐料及石墨爐具相對(duì)較輕，常采取側(cè)開爐門與加熱室內(nèi)的保溫側(cè)開門聯(lián)為一體，便于加熱元件、壓頭、模具等的安裝及進(jìn)、出料。對(duì)于尺寸較大的熱壓爐，由于石墨壓頭、料及石墨模具較重，則設(shè)計(jì)成可移動(dòng)式水冷電纜，將爐門與加熱室聯(lián)成一體，通過內(nèi)、外巧妙設(shè)計(jì)的軌道，可將加熱室移出爐外特定位臵，實(shí)現(xiàn)外加料及外出模并便于加熱室的維護(hù)（如更換加熱器）等。

       真空熱壓燒結(jié)爐的系統(tǒng)通常由擴(kuò)散泵與機(jī)械泵組成高真空擴(kuò)散泵機(jī)組。閥門為專用真空擋板閥，擴(kuò)散泵上設(shè)有冷阱，以防止擴(kuò)散泵返油。配有羅茨真空泵的系統(tǒng)，具有粗抽旁通管路，用以提高抽氣速率，真空度測量采用復(fù)合式數(shù)顯真空計(jì)。前級(jí)機(jī)械泵具有停泵自動(dòng)放氣功能。

      根據(jù)真空熱壓燒結(jié)爐各部分對(duì)冷卻水的要求，制作集水排、由閥門、管路等組成；對(duì)爐體、爐蓋、真空系統(tǒng)及水冷電極進(jìn)行冷卻。其中總進(jìn)水管路安裝水壓傳感器。

 

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